元成股份:已经可以提供12寸抛光前的清洗工艺设备
【元成股份:已经可以提供12寸抛光前的清洗工艺设备】元成股份接受机构调研时表示,在硅片制造的切、磨、抛工艺流程中,目前公司已经可以提供12寸抛光前的清洗工艺设备。12寸抛光后的清洗工艺,现在基本上是海外供应商在做,公司规划在2024年完成12寸的全流程清洗工艺设备的开发。
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